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砷化鎵銦微光顯微鏡
激光束電阻異常偵測
Thermal EMMI(InSb)
砷化鎵銦微光顯微鏡(InGaAs)與微光顯微鏡(EMMI)其偵測原理相同,都是用來偵測故障點定位,尋找亮點、熱點(Hot Spot)的工具。
(1)半導體失效分析 (2)通訊領域中光斑分析 (3)光學相控陣
先進制程組件、IC芯片